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控制光引发剂784在光致抗蚀剂中添加量的方法

2025-03-27

以下是一些控制光引发剂784在光致抗蚀剂中添加量的方法:

一、精确称量

使用高精度的电子天平进行称量。根据光致抗蚀剂的配方总量和设定的光引发剂添加比例,准确称取所需的光引发剂784,例如,如果要配制100克光致抗蚀剂,设定添加量为3%,则需精确称取3克光引发剂784。对于微量的光引发剂,可选择精度为0.001克甚至更高精度的天平,以确保称量的准确性。

在称量过程中,要注意防止光引发剂吸湿、氧化或受到其他杂质污染,保持称量环境的清洁和干燥。

二、溶液配制与稀释

先将光引发剂784配制成一定浓度的母液,例如,将一定量的光引发剂溶解在适当的溶剂中,制成浓度为 10% 20% 的母液,这在向光致抗蚀剂中添加时,可以通过准确量取母液来控制光引发剂的添加量,相比直接称取固体光引发剂,量取液体母液的操作更方便且误差更小。

根据配方要求,通过精确的移液管或微量注射器等工具,从母液中吸取适量的溶液加入到光致抗蚀剂中,然后,再根据需要对溶液进行适当的稀释,以达到所需的光引发剂浓度。

三、基于实验优化

通过设计一系列不同添加量的实验样品,进行光固化性能测试,例如,分别配制添加量为1%2%3%4%5%等不同光引发剂784的光致抗蚀剂样品,然后在相同的光照条件下进行固化实验,测试其感光度、分辨率、膜厚变化等性能指标。

根据实验结果,确定在满足光致抗蚀剂性能要求的前提下,光引发剂784的适宜添加量范围。在后续的生产或应用中,将添加量控制在这个优化后的范围内。

四、在线监测与反馈控制

在大规模生产过程中,可以采用在线监测设备,如光谱仪或其他专门的分析仪器,实时监测光致抗蚀剂中光引发剂的浓度。通过分析光引发剂在特定波长下的吸收或发射光谱,准确测量其在体系中的实际含量。

根据监测结果,及时调整光引发剂784的添加量,如果发现其浓度偏低,可适当增加添加量;反之,则减少添加量。通过这反馈控制机制,确保它的添加量始终保持在设定的范围内,保证产品质量的稳定性。

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