光引发剂784是一种α-氨基酮类光引发剂,在光致抗蚀剂中使用时,要在配方设计、储存运输、使用操作和环境控制等方面多加留意:
一、配方设计
用量精准控制:光引发剂784的用量直接影响光致抗蚀剂的感光速度和固化程度。用量不足,引发聚合反应不充分,导致抗蚀剂固化不完全;用量过多,可能产生残留影响后续工艺,还可能增加成本。一般添加量为光致抗蚀剂总质量的1%-5%,需通过实验确定zui佳值。
与其他成分适配:要与光致抗蚀剂中的其他成分如单体、预聚物等适配。不同单体和预聚物的反应活性不同,需搭配合适的光引发剂。同时,要考虑与其他助剂的相互作用,避免发生不良反应影响性能。
二、储存运输
环境条件适宜:光引发剂784对光和热敏感,储存时应放在避光、低温干燥处,一般建议储存温度在5-25℃,相对湿度不高于60%。包装要密封良好,防止与空气中的水分和氧气接触,避免性能下降。
避免物理损伤:运输过程中要防止剧烈震动和碰撞,以免包装破损导致光引发剂泄漏或变质。
三、使用操作
避免光照:使用时尽量在避光环境下进行操作,如使用棕色容器盛装,在黄光或红外灯照明下工作。若不慎暴露在光照下,可能会提前引发聚合反应,影响使用效果。
控制温度和时间:在光致抗蚀剂涂布和固化过程中,要严格控制温度和时间。温度过高可能使光引发剂分解过快,影响引发效率;时间过短则固化不充分。需根据具体情况优化工艺参数。
四、环境控制
通风良好:光引发剂784及其反应产物可能有一定挥发性和气味,在使用场所要保持良好的通风,及时排出有害气体,保障操作人员的健康和安全。
防止污染:操作过程中要注意防止杂质混入光致抗蚀剂中,避免影响光引发剂的性能和光致抗蚀剂的质量。操作人员需穿戴好防护用品,避免人体和环境对产品的污染。
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